• 大型等离子清洗机QT-100

    详细信息

     加工定制:是  品牌:启天科技  型号:A004  
     用途:工业用  工作频率:50Hz~60Hz  工作电压:380×(1±10%) v 
     功率:≤3kW w 规格:900W×1700H×1000D(mm)   

    大型等离子清洗机:
    主要应用于LCD、连接器、键合前等大规模生产领域。

    特点:所有元器件及核心部件采用进口,保证了整机的稳定性和使用寿命。

    真空泵采用进口旋片泵,是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系,在抗氧化、耐腐蚀等诸多方面积累了丰富的经验,使泵的寿命大大提高,并有效降低了泵的维护成本,泵的各项保护措施完善,提高了长时间工作极限,泵油为耐高温、抗氧化油,泵具有可自行缓解温度过高的散热体系,无需水冷。泵体内置于机柜内部,使机器紧凑,占地面积小。

    控制方式:自动控制系统采用PLC加触摸屏控制,所有工艺参数、工艺过程实时监控,并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间记录,适合维护,可以提供工艺参考。

    标准型号:QT-60-PSP、QT-80-PSP、QT-100-PSP、QT-120-PSP、QT-150-PSP。

    ◎可存储50组工艺配方,随意调用。
    ◎清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。
    ◎工艺参数受密码保护,分级密码管理查询。
    ◎一键完成全自动工艺,实时故障报警、非法操作提示、清洁结束提示等。
    ◎自动提醒系统维护、更换真空泵油等,避免机器过载、过老化情形下工作,延长使用寿命。
    ◎气体质量流量计采用美国进口,由模拟输入输出,量程为0~200sccm可在量程范围内无级调节,根据特殊的工艺要求可用PLC可对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。
    ◎根据特殊的工艺要求可使用干泵,尾气处理设备,油过滤器,过滤返油装置等。电极结构(专利)的高等离子通量设计能很好地提高等离子体地均匀性及稳定性。

     

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