• 实验室特种气体管道工程安装施工

    详细信息

     品牌:KHLOK  型号:316L  加工定制:是  
     产品等级:BA  含量≥:99.9999 % 执行质量标准:工业金属管道工程施工及验收规范  
     CAS编号:GB50235-97    

    气体管道工程可以分为很多种气体:
    (1)易燃性气体
    把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧,当环境温度达到一定时,PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围,即上限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高,如B 2H6的爆炸上限为98%,爆炸下限为0.9%。属于易燃气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3。
    (2)毒性气体(Toxic Gas):半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性最大,它们的阈限值TLV(Threshold Limited Valve)分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。
    (3)腐蚀性气体(Corrosive Gas):这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属,但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。
    (4)惰性气体(Inert Gas): 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害,在气体传输过程中,相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成工伤事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
    (5)氧化性气体(Oxide Gas):这类气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。
    实验室特种气体管道工程安装有哪些标准:
      
      1、所有气体管道都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成,铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方(比如通风柜)
      
      2、所有的管路、阀门、压力表都由高质量的不锈钢构成,并且都是标准配件。
      
      3、根据实验室的用气量,计算供气压力、流量和管道的内径,所有气体主管道原则上不低于9.52mm(3/8in,仪器空气主管道直径为12.7mm)。管路末端,原则上不低于6.35mm(1/4in,也可根据实际使用量而定)。
      
      4、所有管路在天花板下面布设,并通过功能柱到中央台。边台的气体管路隐藏在实验工作台后面服务通道内。
      
      5、易燃气体(如乙炔、氢气等)需要和其他气体分开,单独引入。
      
      6、所有气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时,才可以使用压力配件。
      
      7、每个实验室都要有单独的阀门、减压阀门、压力表。此外,对于供应多台分析仪器的气体管路,另外还需要气体压力控制指示装置。
      
      8、引到工作台的气体管路将安装单独的球阀或针阀来控制。
      
      9、气相色谱工作台上均匀的排放各种气体的出口龙头,管径为3.18mm(1/8in)。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。
      
      10、工作台上气体出口由单独的阀门来控制。
      
      11、所有气体出口为不锈钢阀门。
      
      12、气体管路每隔1.5m的距离,都要有明确表标示,同时指示气体的流向。
      
      13、气体管路的支架要求耐腐蚀,可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。
      
      14、每隔1.5m左右,气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径,设置合适的支架位置。
      
      15、所有弯曲处都要有支撑。
      
      16、所有“U”性弯曲处根据安装情况,需要有支撑。
     
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