瑞柯微硅片全自动四探针测试仪FT-3110A
详细信息
| 品牌:瑞柯微 | | 型号:FT-3110A | | 加工定制:是 | |
| 类型:数字式 | | 测量范围:0.01 MΩ | | 电源:220 | |
| 测试电压:5 V | | 精度:0.01 | | 重复误差:1% | |
| 环境温度:25度 | | 相对湿度:1 | | 校准周期:12个月 | |
| 重量:75 kg | | 尺寸:1300 | | | |
硅片全自动四探针测试仪
功能描述:
四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;
参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;
可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择,
可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件.
报表输出数据统计分析.
硅片全自动四探针测试仪
适用范围
晶圆、非晶硅/微晶硅,导电膜,氮化镓,碳化硅电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;
交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;
半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.
硅片全自动四探针测试仪
参数资料:
规格型号 |
FT-3110A |
FT-3110B(可扩展) |
1.电阻 |
10^-5~2×10^5Ω |
10^-6~2×10^5Ω |
2.方块电阻 |
10^-5~2×10^5Ω/□ |
10^-6~2×10^5Ω/□ |
3.电阻率 |
10^-6~2×10^6Ω-cm |
10-7~2×106Ω-cm |
4.测试电流 |
0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,
10mA,100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
5.电流精度 |
±0.1% |
6.电阻精度 |
≤0.3% |
7.PC软件操作 |
PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力值、报表生成等. |
8.压力范围(选购): |
探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调 |
9.探针 |
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%
圆头铜镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制 |
10.晶片尺寸(选购) |
晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm) |
11.分析模式 |
单点、5点、9点、49点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
12.重复性 |
测量重复性:重复性≤3% |
13.防护功能 |
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
14.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W |