• 瑞柯 硅片全自动四探针测试仪FT-3110A

    详细信息

     品牌:瑞柯  型号:FT-3110A  加工定制:是  
     类型:数字式  测量范围:0.01 MΩ 电源:220  
     测试电压:5 V 精度:0.01  重复误差:1%  
     环境温度:25度  相对湿度:1  校准周期:12个月  
     重量:75 kg 尺寸:1300   
    硅片全自动四探针测试仪
    .功能描述
    四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;
    参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;
    可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择,
    可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件.   
    报表输出数据统计分析.
    适用范围
    晶圆、非晶硅/微晶硅导电膜,氮化镓,碳化硅电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;
    交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等
    半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏.
    参数资料
     
    规格型号 FT-3110A FT-3110B(可扩展)
    1.电阻 10^-5~2×10^5Ω 10^-6~2×10^5Ω
    2.方块电阻 10^-5~2×10^5Ω/□ 10^-6~2×10^5Ω/□
    3.电阻率 10^-6~2×10^6Ω-cm 10-7~2×106Ω-cm
    4.测试电流 0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,
    10mA,100mA
    1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
    5.电流精度 ±0.1%
    6.电阻精度 ≤0.3%
    7.PC软件操作 PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱压力、报表生成.
    8.压力范围(选购) 探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调
    9.探 针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%
    圆头镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制
    10.晶片尺寸(选购 晶圆尺寸:2-12寸6寸150mm,12寸300mm
    11.分析模式 单点、5点、9点、49点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试
    12.重复性 测量重复性:重复性3
    13.防护功能 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
    14.电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W
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