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    Kiki 

    Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备

     

    新型薄膜太阳能光伏、液晶TFT-LCD薄膜CVD制程专用燃烧式尾气处理设备。

     

    Kiki NITSU新型燃烧式薄膜CVD制程尾气处理设备, 为日本『木麒制作所』Kiki SEISAKUSYO累积多年经验及制作研发上的深厚基础上, 参酌最新世界安全规范, 评鉴过往美日业界同类型机发展的得失后, 开发出近年来最适用于非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程尾气处理的新型燃烧式处理设备。

     

    Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备的用途

    可处理气体种类包括非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程中产生的废气

     

    Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备的主要特点:

    1. 全机整体新思维安全设计, 高安全标准自我诊断异常及意外预防应对规格, 同时通过了德国TUV最新SEMI S2, SEMI S8, EN 60204-1: 2006认证。

    2.独特涡流火焰燃烧器, 拥有处理量特大﹑处理效率优异﹑及长时间运转之最高稳定信赖性。

    3CH4C3H8双燃料机型, 具燃料节约控制设计, 符合经济节能与环保要求。

    4.良好机械架构设计与人机界面程序, 操作容易上手、停机保养频率低、保养简单快速、零料件经久耐用等众多优点.

    5.燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定, 特别适合应用于非晶硅薄膜太阳能电池、大尺寸液晶生产等之高SiH4 PH3NF3SF6气体使用, 并大量产出SiO2P2O5易衍生粉尘堆积及大量高浓度HF酸腐蚀气体的PECVD制程尾气处理。

     

    Kiki NITSU 主要气体处理反应 

    REACTION

    POWDER (g/l)

    2H2 + O2 → 2H2O

     

    B2H6 + 3O2 → B2O3 + 3H2O

    3.11

    4NH3 + 3O2 → 2N2 + 6H2O

     

    2NF3 + 3H2 → 6HF + N2

     

    4NF3 + 3CH4 + 3O2 → 2N2 + 3CO2 + 12HF

     

    2PH3 + 4O2 → P2O5 + 3 H2O

    3.17

    SiH4 + 2O2 → SiO2 + 2 H2O

    2.68

    2Si2H6 + 7O2 → 4SiO2 + 6H2O

    5.36

    Si3H8 + 5O2 → 3SiO2 + 4 H2O

    8.06

    SiH2Cl2 + O2 → SiO2 + 2HCl

    2.68

    2WF6 + 6H2 + 3O2 → 2WO3 + 12HF

    10.35

    2WF6 + 3CH4 + 5O2 → 2WO3 + 3CO2 + 12HF

    10.35

    2SF6 + 6H2 + 3O2 → 2SO3 + 12HF

     

    2SF6 + 3CH4+5O2 → 2SO2 + 3CO2 + 12HF

     

    F2 + H2 → 2HF

     

    2F2 + CH4 + O2 → 4HF + CO2

     

    Si(C2H5O)4 +12O2 → SiO2 + 8CO2 + 10 H2O

    2.68

    C2F6 + 3H2 + 2O2 → 6HF +2 CO2

     

    2C2F6 + 3CH4 + 7O2 → 7 CO2 + 12HF

     

    N2O + H2 → N2 + H2O

     

    4N2O + CH4 → 4N2 + 2H2O + CO2

     

     

    Kiki NITSU优质的客户服务

    日本木麒制作所提供薄膜太阳能电池及新世代液晶PECVD的尾气处理系统, 主要包括有:

             (1) 荣获德国TUV 认证的新型燃烧式CVD尾气处理设备NITSU

               (2) 集中处理型弹匣式过滤材粉尘集尘机

                     Cartridge Filter type Particle Collector

       (3) 集中处理型酸排气水洗处理设备

            Central Wet Scrubber

     

        上海怀利环保设备有限公司Kiki 日本木麒原厂技术认证授权, 专注服务大中华区所有薄膜太阳能电池及大尺寸液晶TFT-LCD制造厂客户, 提供系统设备自规划、选机、承包施工、安装试车及全年保养维修、充裕零料件完整库存的全面性整体专业服务。 

     

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