• 80L等离子刻蚀机

    详细信息

     加工定制:是  品牌:启天科技  型号:a001  
     用途:工业用  工作频率:50Hz~60Hz  工作电压:380×(1±10%) v 
     功率:≤3kW w 规格:900W×1700H×1000D(mm)   

    在真空状态下, 利用射频辐射视得氢气, 氧气, 氮气,等气体生成具有高反应活性的等离子于气体反应形成挥发性化合物, 然后由真空系统将这些物质清除出去 等离子体刻蚀机,应用刻蚀硅片边缘的硅鳞层,扩散过程中, 不但硅片的表面扩散上了鳞,硅片边缘也扩散上了鳞,这会导致硅片正反两极通过边缘导通短路,所以必须将硅片边缘这层被扩散的 硅鳞去掉,大概去掉1到3个微米, 硅片在刻蚀机内水平选装, 通入的反应气体为四氟化碳,氧气和氮气,其原理是在放电状态下反应气体四氟化碳, 氧气, 和硅片边缘的规划和物发生反应, 生成硅, 反应形成粉末和气态物质后随气流一起被抽走
     

    QT-系列-PSP型等离子体清洗机结构示意图见图1:



     

    图1外形仅供参考

    启天等离子清洗机QT-系列-PSP等离子体清洗机的工作原理是在真空状态下,利用射频电源使得氧、氩、氢等气体生成具有高反应活性的粒子,与有机污染物反应形成挥发性化合物,然后由工作气体流将这些挥发性物质清除出去。

    各主要功能部件结构及工作原理如下:
    1) 反应仓:采用不锈钢制造,是进行等离子体清洗的工作区。
    2) 骨架:是设备的机械支撑。
    3) 供气系统:为等离子体清洗提供特定的工作气体。
    4) 射频电源:产生13.56MHz的高频电源,激发等离子体。
    5) 真空系统:用于抽真空,以提供合适的工作压力。
    6) 控制系统:对整个设备进行控制,可实现多种工作模式。

     

    三 主要性能指标

    主要技术参数:

    1) 整机外形尺寸(约): 900W×1700H×1000D(mm) 外观喷塑处理;
    2) 反应仓尺寸: W450mm×H400mm×D450mm;
    3) 电源:主系统电源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz~60Hz  三相五线
    4) 等离子体频率:13.56MHz;
    5) 射频电源功率:(0~600)W连续可调;
    6) 设备功率:≤3kW
    7) 控制方式:采用包括触摸屏人机界面的PLC控制,操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理,可同时存储50组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理,设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数,提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修
    8) MFC质量流量计控制(标准配置2路)
    9) 气体流量:(0~200)ml/min (标准气压,0℃)
    10) 工作气体(氧、氩等)接口压力:0.35~ 0.45MPa
    11) 压缩空气(启动气动角阀)接口压力:0.5Mpa
    12) 净化冷却气体(氮气)接口压力:0.35~ 0.45MPa
    13) 设备工作节拍:单次清洗时间≤6min(反应时间180S左右)
    14) 工作真空度:10~150Pa

     

    等离子清洗机操作规范

    1、 注意开启气瓶时先松掉左边管路的调节阀,然后开启总阀,再慢慢开启左边管路的调节阀,使外围管路有气压,气压调至0.3Mpa。
    2、 点击电源启动按钮,系统上电,待出现自动模式界面,请先读取配方,观察当前配方参数是否为所需配方。
    3、 初次清洗时(如交接班时)应该执行空洗模式,空洗配方为6号配方。
    4、 所有取放料工作人员取放物料必须戴防烫伤手套,物料工件严禁直接用手指触碰,否则会发黄。
    5、 物料采用不锈钢托盘成叠放置,工件必须竖直朝上,四周边沿用不锈钢夹具靠紧,夹具高度比工件高2mm左右,托盘放置于玻璃板上方中央,玻璃板水平置于电极板中央,注意物料中严禁放置纸片等其他富含氧材料,否则会造成工件发黄。
    6、 注意防止任何情形下的将仓体中的正负极导通,否则可能会使射频电源损坏。
    7、 腔体中最多单次工件清洗总量不要超过       ,每盘最多可放      。
    8、 请针对污染或氧化等严重程度分为三个等级,分别采用三种配方清洗,其中配方1作为常用配方,当污染轻微时采用配方2,当污染极其严重时采用配方3。
    9、 关好门并压紧的同时点击工艺启动,门被吸紧后即进入正常工作状态,请注意机器是否有异常报警,一旦发现异常请按急停或处理所提示的故障,正常工作结束后,戴上防烫伤手套打开门取出物料。
    10、 当设置的工作气体是氩或者氩氢混合气体时,如果发现腔体内发光长时间呈红色,则说明有真空泄露,应及时停机处理,否则可能会对工件造成氧化。
    11、 每次清洗完的工件最好抽取样品用纯水滴于表面看是否扩散良好,扩散越大的清洗效果越好,或者用达因笔在表面画一条直线,看是否连续不间断,以墨水涂覆均匀为佳。

     

  • 留言

    询价产品:
    *(必填)
    联系人: *(必填)
    手    机: *(必填)
    电    话:
    E-mail:
    公    司: *(必填)
    地    址:
广东启天自动化智能装备股份有限公司 地址: 广东省东莞市樟木头镇樟洋工业区富竹二街八号 技术支持:谷瀑环保 管理员入口
内容声明:谷瀑环保为第三方平台及互联网信息服务提供者,谷瀑环保(含网站、客户端等)所展示的商品/服务的标题、价格、详情等信息内容系由店铺经营者发布,其真实性、准确性和合法性均由店铺经营者负责。谷瀑环保提醒您购买商品/服务前注意谨慎核实,如您对商品/服务的标题、价格、详情等任何信息有任何疑问的,请在购买前通过谷瀑环保与店铺经营者沟通确认;谷瀑环保设备网上存在海量店铺,如您发现店铺内有任何违法/侵权信息,请立即向谷瀑环保举报并提供有效线索。