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    CY-SC1200C-S型 滑轨式微波CVD系统
    产品用途 CY-SC1200C-S型 滑轨式微波CVD系统是一款微波快速升温又可快速降温的真空气氛CVD系统。具有真空、可控气氛及高温的实验环境,适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构可控生长、陶瓷电容气氛烧结、氧化石墨烯还原膨化等实验
    产品特点 ●一体化设计、设备与真空气氛配套设备集成,安全方便
    ●多路质量流量控制系统,装料出料方便,只需一个卡箍即可完成
    ●国际品牌控制系统,稳定可靠
    ●工业级微波系统,使用稳定寿命长
    ●物料升温速度快,可达100℃/min,加热时间缩短成原来的1/5-1/10
    ●真空成型保温纤维轻质结构,节能高效
    ●7寸大触摸屏操作,简单方便
    ●非接触式加热,材料无污染
    ●可选配置高真空系统,采用高压强、耐冲击分子泵,防止意外漏气造成分子泵损坏,延长真空系统寿命
    ●根据客户需要,预存4组工艺,可直接调用和随时修改
    ●可快速降温,提高实验效率
    产品安全 微波泄漏≤0.01mw/cm²(低于手机平均泄漏值)、超温报警、开门断电、复电延时
    型号 CY-SC1200C-S
    设备结构 箱式(落地摆放)
    电压 220±10V  50Hz
    额定功率 3KW
    微波功率 0.01~1.4kW  连续可调
    微波频率 2.45GHz
    最高温度 1200℃
    使用温度 ≤1100℃
    加热区长度 150mm
    恒温区 100mm
    炉管直径 Ø40mm
    升温速率 ≤100℃/min
    控温精度 ±1℃
    气体控制方式 质量流量计
    气路数量 3(可根据用户要求配置)
    标准 0-500sccm(标准ml/min,可选配)氮气标定
    工作压力 进气压力0.05-0.3MPa
    静态真空度 中真空:10-100Pa/高真空:10-3Pa
    控制程序 手动、恒温、自控,带数据存储,导出实验数据;曲线实时显示,40段可设工艺参数,预设4条工艺曲线,实验随时调出
    控制方式 7寸触摸屏+PLC
    微波泄露 <0.01mw/cm2
    报警 超温报警
    设备尺寸 500*1200*1100mm(长×宽×高)
    设备配置 1、304不锈钢炉体1套
    2、工业级微波加热系统1套
    3、保温模块1套、炉管2根、料舟4个、堵头4个
    4、三菱品牌PLC 1件、7寸西门子触摸屏1件
    5、气路总成1套(流量计2只、真空计1套、真空泵1台、真空阀2个、316L真空接头法兰1套、压力表1个)
    6、滑动装置1套,炉管台架1套
    7、手持式微波检漏仪器1件、操作手套1套、不锈钢料钩 1把
    选配 1、质量流量控制器
    2、分子泵
    易损品 1、保温模块
    2、炉管
    3、坩埚
    4、堵头
    售后服务承诺 1、整机质保1年(易损品除外)
    2、上门安装调试、培训,免费现场指导用户物料的微波烧结工艺
    3、全国维修,设备报障2小时内响应,需要现场维修,省内24h,省外48h到现场
    4、免费控制软件升级,免费电话或视频技术培训,每半年进行电话询访
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