| | 品牌：Xiton | | 型号：IXION-193 | | 加工定制：是 | |
| | 波段范围：真空紫外 | | 激光方式：参考说明书 | | 工作物质：固体 | |
| | 光路径：参考说明书 | | 输出形式：参考说明书 | | 传输信号：参考说明书 | |
| | 输出波长：参考说明书 mm | | 线宽：参考说明书 mm | | | |
IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，精确度可达1pm以保证对激光器调谐的***大控制。
Xiton单频紫外激光器IXION-193 SLM典型参数
| 型 号 |
IXION-193 SLM |
| 波 长 |
193.368 nm |
| 平均功率 |
>10 mW |
| 脉 宽 |
< 10 ns |
| 脉冲能量 |
>1.6 µJ |
| 重复频率 |
6 kHz |
| M2 因子 |
< 1.6 |
| 线 宽 |
<120MHz;0.015pm; 0.004cm-1 |
| 调谐范围 |
>80GHz; 10pm;2.6cm-1 |
| 相干长度 |
>1 m |
Xiton单频紫外激光器IXION-193 SLM特点
· 工业级的频率转换，密封封装
· 插槽安装激光二极管泵浦
· 优异的TEM00光束形貌
· 脉冲到脉冲之间波动小
· 免维护与热电温控管理
· LabVIEW驱动
· 内置光谱仪用于波长实时控制
Xiton单频紫外激光器IXION-193 SLM应用
· 193 nm波长计量
· 光谱仪校准
· 干涉测量
· 准分子激光器的种子注入
脉冲宽度
光谱带宽
长时间功率稳定性
光束质量
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长时间功率稳定性
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