• 中国日本德国SEM和EDS电子扫描镜SU5000/7000

    详细信息

     品牌:中国日本德国  型号:SU5000/7000  加工定制:否  
     类型:电子  目镜放大倍数:300000  物镜放大倍数:30000  
     仪器放大倍数:300000  重量:100000 g 适用范围:电子放大镜  
     装箱数:1    
    日立SU5000/7000高智能多开放式场发射扫描电镜方案
    服务电话  
     
    *部分:配置(P2
    第二部分:技术参数(P3)
     
     
     
       
    *部分:配置报价
    序号 货号 设备名称 数量 备注
    1 主机 Model SU5000 SEM
    SU5000  型场发射扫描电镜主机
    Lower Secondary Electron Detector
    低位二次电子探测器
    100x50mm 5-axis motorized stag
    100x50 五轴马达驱动样品台
    Objective movable aperture holder: 4 holes with click-stop design(20, 30, 70, 150 µm dia.)
    4孔物镜活动光阑杆(孔径20, 30, 70, 150 µm),附带自清洁装置
    Rotary pump
    机械泵
    Turbo Molecular Pump(TMP) 250 L/sx1
    分子泵,250 L/s x1
    Ion pump: 30 L/s  20 L/s
    离子泵:30 L/s  20 L/s
    Control System,including PC,Keyboard,Mouse,Rotary Knob
    控制单元,包括电脑、键盘、鼠标、多功能旋钮板
    EM Wizard
    电镜助手功能(高自动化)
    Connector for DBC
    能谱接口(外扫描控制器)
    Auto Standard sample correction
    自动标准样品校正
    1 原装进口
    2 510-9808    SDM with CD-Measurement Function for SU5000 14S
    高精度测量软件(离线版,允许10台电脑使用)
    1 原装进口
    3 511-5739 Auto-Transformer for SU5000 15K
    变压器, 7kVA
    1 原装进口
    4 耗材 耗材(光阑、导电胶带、泵油等) 1 原装进口
    5   空压机 1 原装进口
    6 国内采购 显示器 1 -
    报价:美金
     
     
     
     
    第二部分:技术参数
     
    • 高自动化场发射扫描电镜技术参数
    1.  运行环境:
    1.1  房间温度:15 ~ 25℃
    1.2  相对湿度:小于60%
    1.3  适用电源:单相,220V±10%,50/60Hz,4kVA,要求连续供电
    1.4  地线:接地电阻不小于40Ω
    2.技术参数
    2.1 组成:主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统),自动变压器,计算机,标准工具及附件。
    2.2 电子枪:肖特基热场发射电子枪引出电压, 2.5kV – 4kV (*小步进10V
    2.3 分辨率
    2.3.1 SE分辨率 30kV1.2nm
                   1kV:3.0nm
                   1kV:2.0nm(减速I
                   1kV:1.6nm(减速II)
    2.4  加速电压:0.5 ~ 30kV  (减速下*低电压0.1kV
    2.5束流:高、低真空下均大于200nA(高、低真空模式下同时满足,有利于检测能力)
    2.6放大倍率
    底片倍率:10600,000x;显示器倍率:301,500,000x 1280x960像素);
    可同时显示以显示器为准和以底片为准的两种模式的放大倍率
    2.7  物镜光阑:4孔可调式,光阑孔径(150/70/30/20um),内置标配加热自清洁装置(以便于增加光阑使用寿命),含位置感应器
    2.8 扫描线圈:两级电磁透镜偏转
    2.9透镜系统:3级电磁透镜系统
    2.10像散矫正单元:八极电磁消像散
    2.11抽屉式大开仓结构,样品台安装在仓门上。
    2.12样品台驱动:5轴优中心马达驱动样品台。
    X±100mmY±50mmZ3-65mm;★ T: -20 to 90 degR: 360deg
    2.13 样品大小:200mm(直径),80mm(高度)
    2.14 探测器配备独立的二次电子探测器
    2.15  图像导航:自动图像导航,且拥有三维图像导航功能
    2.16  真空系统:
    真空度:10-7Pa (电子枪)7×10-4Pa (样品室)
    分子泵(磁悬浮型)250L/s×1
    机械泵133L/min×1台;
    离子泵30L/s×1,20L/s×1
    保护:断电、漏电、真空保护
    2.17 仪器标配特殊材质标准样品,具有自动标准样品校准功能。无需工程师维护,便于提高电镜实时精度。
    2.18配备高自动化辅助操作软件高级功能::标准模式和高级模式,观察助手模式,像散调节训练模式,操作向导,应用助理,倾斜辅助,样品台记忆和移动,图片导航,操作条件文件保存,放大倍率预设,视频输出。(提高便捷自动化使用功能)
    2.19  扫描模式: 至少包含Rapid scanFast ScanSlow scanReduce scanCS scanspot mode
    2.20  图像储存:BMPTIFFJPEG640×4801280×9602560×19205120×3480像素
    2.21  捕捉的图片可存储在临时图片栏内,可选择单张存储或批量存储,可自动连续命名
    2.22  数据记录:放大倍率,加速电压,工作距离,日期,时间,编号,信号类型
    2.23  捕捉的图片可存储在临时图片栏内,可选择单张存储或批量存储,可自动连续命名
    2.24  自动功能:自动校准,自动亮度对比度,自动对焦,自动消像散和对焦控制,自动开启,自动电子束偏移
    2.25  扩展接口:至少为12个,以便于后期扩展功能
    2.26  用户可自行完成红烘烤维护和镜筒合轴维护
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