• 详细信息

    特点
    JSM-IT300扫描电子显微镜经过改进照射系统、真空系统和信号处理系统,不仅能观察高质量的图像,还能利用触控屏和快速样品台进行高通量的直观操作。
     

    先进的功能

    • 高品质的图像
      通过改进电子光学系统,使图像质量更高,成像和分析更快。
    • 减少了充放电现象
      新的扫描方式能抑制非导电性样品的荷电效应。
    • 低真空模式(LV)
      低真空压力范围从10 Pa 650 Pa,拓宽了可以观察的样品材料的范围。
    • 样品台导航系统
      全自动5 轴马达驱动样品台提高了寻找感兴趣的区域(ROI)的速度。使用导航系统(选配件)在彩色图像上能迅速到达感兴趣的区域。
    • 分析
      在高电流模式下,束流电流可高达1 μA ( 加速电压≥20 kV)
      高性能的可变焦聚光镜***大限度地减少了因探针电流改变而引起的图像和焦点漂移。
      计算机控制的全对中样品台旋转 ,能很容易地对样品或感兴趣的区域定位。
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    多功能

    • 大型样品室和样品台
      能容纳大型、较重的样品,可装载***大尺寸为200 mmφ× 80 mm H)、重达2 kg 的样品。
    • ***佳几何设计的分析接口
      多个接口可以安装EDSEBSD WDS 等附件, EDS EBSD 处于同一平面,此外,还能安装两个相隔180 度的EDS 检测器用于高通量的显微分析。
    • 移动迅速的样品台
      新开发马达驱动样品台能快速地定位 ( 与其它JEOL 的产品相比快1.5 倍)。
    • 全自动5 轴马达驱动样品台
      采用了机械对中、五轴(X Y,ZTR) 异步马达控制的样品台,当观察厚样品或当感兴趣区域(ROI) 不在倾斜轴的中心时,可利用标配的计算机控制的全对中倾斜和旋转校正功能。
    • 全新的真空系统
      全新的真空系统缩短了样品交换后抽真空的时间,使低真空模式下的信号更好。
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    直观的操作

    • 触摸屏界面
      新设计和开发的图形用户界面(GUI)使操作更加舒适,还能支持触摸屏操作。 用户界面的大小可以调节,因此在分析或数据处理时,可以优化工作空间。
    • 多用户、多任务
      多用户登录功能,可用于自定义工作区和样品条件的设置。
    • 支持多语言
      用户界面语言可以在日语和英语间切换( 通过图标选择)
    规格

    产品规格

    分辨率 高真空模式 3.0 nm (30 kV) 8.0nm(3.0 kV)  15.0 nm (1.0 kV)
    分辨率 低真空模式 4.0 nm (30 kV BED)
    放大倍率 5 300,000
    预设倍率 6 档(用户可以设定)
    电子枪 可以完全自动和手动调节
    加速电压 0.3 kV 30 kV
    灯丝 工厂预对中发卡式钨灯丝
    束流电流 1 pA 1 μA
    低真空压力设定范围1 10 650 Pa
    聚光镜 高精度变焦聚光镜
    物镜 锥形物镜
    物镜光阑 3 档 带有XY 微调功能
    像散记忆
    图像电位移 ±50 μm (WD 10 mm)
    自动功能 自动聚焦、
    自动亮度/ 衬度、自动消像散
    样品交换 打开样品室门进行交换
    ***大样品尺寸 200 mm 直径 80 mm 高度
    WD10 mm
    样品台 大型全对中测角样品台
    X125 mm Y100 mm Z80 mm
    倾斜:-10 90° 旋转:360°
    标准菜谱
    图像模式 二次电子像、REF 像、成份像、形貌像、阴影像
    比较窗口(屏幕快照) 6 张(保存、调出、可以再现成像条件)
    OS Windows7®
    显示器 23 英寸触摸屏 
    (显示器分辨率1,920 × 1,080
    像素数 640× 480 1,280 × 960
    2,560 × 1,920 5,120 × 3,840
    图像显示模式 (多分屏显示、全屏显示、灵活窗口显示、
    信号叠加显示)
    数字图像调整 有(伽玛校正、伪彩色)
    直方图显示
    测量功能
    (两点间距离、平行线间距离、角度、直径等)
    3D 测量 2
    互补色立体图像
    图像编辑软件 SMile View™
    语言切换 可以在UI 上(日语/ 英语)
    图像格式 BMPTIFFJPEG
    图像自动保存
    抽真空系统 完全自动 
    TMP1 台 RP1 台或者2 1
    真空模式切换 在操作界面上可以
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