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    小型等离子清洗机简介:广泛应用于LED、LCD、LCM、手机天钱、手提电脑按键及外壳, CMOS摄像头及数码相机零组件, Si,InP,GaAs晶圆、晶片、光纤、电路板、X-ray镜片、UV/IR镜片、光盘读写头零组件、光学元件、 精密模具、精密仪器以及包装、印刷、纺织、塑料制品、生物材料、医疗器皿,半导体,太阳能光伏等行业。

     

    小型等离子清洗机(电浆清洗机)

    1.主要用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。

    2.特点:成本低,整机机械、电气结构简单、实用,易维护。

    3.控制方式:手动或自动控制模式,一键完成整个清洗工艺。

    4.电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。

    5.射频电源手动匹配(自主研发的全固态晶体管输出型)

    6.浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。

    7.清洗完成有提示音。

    8.反射功率过大报警。

    9.工艺气体耗尽报警。

    10.泵热过载报警。

    11.反应仓泄漏报警。

    12.电极采用高通量等离子结构,牢固可靠易拆卸。

    13.反应仓位矩形不锈钢腔体,水平电极板放置,间距可调。

    14.真空泵采用双腔式旋片泵,极限真空度可达2Pa以下,一般采用外置。

    15.真空泵可选配液位低报警装置。

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