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手动炉前清洗机

手动炉前清洗机
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  • 所  在  地:江苏苏州
  • 更新日期:2012-03-19
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手动炉前清洗机
 
 
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手动炉前清洗机

设备用于清洗硅片。在单晶制绒后,硅片表面肯定残留碱液和金属离子,手动炉前清洗是为了中和残留在硅片表面的碱液同时用HF酸去除表面的金属离子,避免了再硅片在经过扩散后出现的焦片和硅片表面的斑点。

序号

规格

参数

1

  整机尺寸(参考)

  6,900 mm (L) x 2,400 mm (W) x 2,650 mm (H)

2

  安装尺寸

  8,600 mm (L) x 4,000 mm (W) x 3,400 mm (H)

3

  硅片尺寸

  125 x 125;
  156 x 156

4

  节拍/槽

  约3 分钟(根据实际工艺时间而定)

5

  *大产量

  4000片/小时 (156 x 156硅片)

6

  每批*大处理量

  200片 (156 x 156硅片)

7

  设备节拍

  300秒

8

  200片盒*大尺寸

  50片/片盒; 4盒

9

  *大处理重量

  40kg

10

  操作形式

  手动

11

  设备工艺

  自动上酸,漂洗,脱水,清洗(时间可调),药液温度控制

12

  设备结构

  由上下料台、清洗槽、净化装置,抽风系统及电控部分组成

 
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