• 详细信息

                      更多信息详见官网:www.longsun.asia

    薄膜厚度测量

    光谱椭圆测量仪(SE)是一种工业标准技术,可以精确测量薄膜的厚度和光学常数,同时,它也被用于各种材料(如电介质、半导体、有机物等)的表征,包括AR涂层、OLED和低()-k材料。
    特点
    1.Easy Operation & Fast Measurement 
    1.操作简单,快速测量
    2.High Reproducibility 
    2.高重现性
    3.User-Friendly Operation 
    3.人性化操作
    4.Non-contact & Non-destructive 
    4.非接触&无损伤
    5.Multi-Layer Measurement 
    5.多膜层
    6.In-Situ (Sutter, ALD,PECVD etc.)
    ​6.在线测量(磁控溅射,ALD,PECVD,等等)
    应用
    ·Thickness of Dielectrics, Semiconductors, Polymers,
    介质层,半导体,聚合物的厚度测量
    ·Supporting Backside/Front side Reflections
    支持正反面反射
    ·Very Thin Films, Very Thick Films
    非常薄膜层,非常厚膜层
    ·Variable Substrates (Silicon, GaAs, Al, Steel, Glass, Al2O3, PC, PET, Polymer films and Others)
    多种衬底(Silicon, GaAs, , Al, Steel, Glass, Al2O3, PC, PET, Polymer以及其他膜层)
    Semiconductor: Si, Ge, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs, Si3N4
    半导体材料:Si, Ge, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs, Si3N4
    - Display(incl. OLED) : ITO, PR, MgO, Alq3 , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO2 , ONO
    显示(包括OLED):ITO, PR, MgO, Alq3, CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO2, ONO
    - Dielectrics: SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, Wet oxides
    介质:SiO2 , TiO2 , Ta2O5 , ITO, AIN, ZrO2 , Si3N4 , Ga2O3 , 湿式氧化物
    - Polymer: Dye, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR
    聚合物:Dye, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR
    - Chemistry: Organic film(OLED) & LB Thin film
    化合物:有机膜(OLED&LB
    - Solar cell: SiN, a-Si, poly-Si, SiO2 , Al2O3
    太阳能电池:SiN, a-Si, poly-Si, SiO2, Al2O3
    指标特点  
    Elli-SE
     
    μ-Spot Spectroscopic Ellipsometer
     
    图片
    测量常数   膜层厚度,折射率n,消光系数k,波长λ 膜层厚度,折射率n,消光系数k,波长λ
    膜厚范围 亚埃级-10微米(取决于膜层) 亚埃级-10微米(取决于膜层)
    波长范围  
    240 ~ 1050 nm (紫外线)
     or 380 ~ 1050 nm
    光谱范围选项:Duv深紫外:193nm, IR红外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
     
    240 ~ 1050 nm(紫外线)
    光谱范围选项:Duv深紫外:190nm, IR红外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
     
    测量能力  
    正常模式(~10 sec
    快速(1~3 sec)每点(取决于膜层)


     
     
    正常模式(~10 sec
    快速(1~3 sec)每点(取决于膜层)


     
    束斑直径-尺寸 1.5 mm  (可选 100μm, 50 μm, 20 μm) 10μm, 25 μm, 50 μm, 100μm
    入射角 45°~90°(自动变换角度) 45°~90°(自动变换角度)
    膜层数量 多至10层(取决于膜层) 多至10层(取决于膜层)
    重复性 10次测量在(3σ) ±0.3 Å 10次测量在(3σ) ±0.3 Å
    色散关系 Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical(量子力学), Drude-TL, Drude-QM Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical(量子力学), Drude-TL, Drude-QM
    提供功能 折射率、消光系数和光带隙
    薄膜密度和组成,材料的色散函数库
    用户定义的模型功能,数据导入和导出功能,可扩展库
    折射率、消光系数和光带隙
    薄膜密度和组成,材料的色散函数库
    用户定义的模型功能,数据导入和导出功能,可扩展库
    应用 介质层,半导体,聚合物的厚度测量、支持正反面反射、非常薄膜层,非常厚膜层、多种衬底、半导体材料、显示、介质、聚合物、化合物、太阳能电池 介质层,半导体,聚合物的厚度测量、支持正反面反射、非常薄膜层,非常厚膜层、多种衬底、半导体材料、显示、介质、聚合物、化合物、太阳能电池
  • 留言

    *详细需求:
    *手  机:
    联 系 人:
    电    话:
    E-mail:
    公  司:
    谷瀑服务条款》《隐私政策
  • 您可能感兴趣
北京朗铭润德光电科技有限公司 地址: 北京市石景山区八大处路49号院点石商务1号楼903室
内容声明:谷瀑为第三方平台及互联网信息服务提供者,谷瀑(含网站、客户端等)所展示的商品/服务的标题、价格、详情等信息内容系由店铺经营者发布,其真实性、准确性和合法性均由店铺经营者负责。谷瀑提醒您购买商品/服务前注意谨慎核实,如您对商品/服务的标题、价格、详情等任何信息有任何疑问的,请在购买前通过谷瀑与店铺经营者沟通确认;谷瀑上存在海量店铺,如您发现店铺内有任何违法/侵权信息,请在谷瀑首页底栏投诉通道进行投诉。