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    Zenith150高温快速退火炉,可处理直径为6英寸的基片,温度可达2000℃。
    一、应用
    碳化硅注入退火
    石墨烯CVD(石墨烯化学气相沉积)
    高温SIC升华石墨烯(高温碳化硅石墨烯)
    二、关键特性
    • Tungsten heater furnace 钨灯加热炉体
    • Stainless steel cold wall chamber 不锈钢冷壁腔室
    • Easy substrate loading 装载方便
    • Fast digital PID temperature controller 快速数字PID温度控制器
    • Pyrometer temperature control 高温计温度控制
    • Atmospheric and high vacuum process capability 大气和高真空工艺能力
    • Up to 8 process gas lines with digital MFC 高达8条带数字MFC的工艺气路
    • PC control with Ethernet communication PC控制与以太网通信,电脑操作工艺软件,方便快捷
    三、性能指标
    1、温度范围:450-2000
    2、升温速率:Max4°C/s至1800Max2°C/s至2000℃。
    3、标配一条标准吹扫气路
    4、配有热电偶
     
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