管式炉

管式炉

详细信息

加工定制：是	品牌：日新高温	型号：CVD
功率：35 kw	*大电压：220 V	额定温度：1350 ℃
主要用途：科研	产品认证：ISO	自动化程度：半自动

应用领域： CVD系列真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理.

产品特点： CVD系列真空气氛管式炉专门设计用于高温材料沉积之用。硅钼棒加热、刚玉炉管炉膛, 可预抽真空,便于通入参加反应的气体, CVD系列真空气氛管式炉进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。

技术指标：

设备型号	CVD（D）-06/60/3		CVD（Z）-06/30/1	CVD（G）-07/50/2	CVD（G）-09/50/1
***高温度	1050℃		1300℃	1650℃/1000℃	1650℃
使用温度	RT—1000℃		850-1300℃	1000-1600℃	1000-1600℃
控制精度	±1.5℃		±1.5℃	±1.5℃	±1.5℃
温区个数	3个		1个	2个	1个
加热区长度	600mm		300mm	500mm(300mm/200mm)	500mm
炉管尺寸	ф60（外径）×1400（mm）		ф60（外径）×1000（mm）	ф70（外径）×1450（mm）	ф90（外径）×1450（mm）
炉管材料	石英管		刚玉管	刚玉管	刚玉管
发热元件	进口电阻丝		电阻丝/硅碳棒	硅钼棒、电阻丝	硅钼棒
*大装机功率**	4.5KW		3kw/8kw	10kw	12kw
CVD-□□□ 选件功能	/□	/□
	V		真空系列：单级机械泵+扩散泵机组
		Q	气氛系统：浮子流量计；进口/国产质量流量计

具体工艺参数请登陆合肥日新高温技术有限公司企业门户

具体工艺要求请来电垂询： 65583720

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