- 多晶硅扩散专用炉
详细信息
加工定制:是 品牌:日新高温 型号:RGL系列 功率:34 kw *大电压:380 V 额定温度:1400 ℃ 主要用途:工业 产品认证:ISO 自动化程度:半自动 应用领域: RGL系列气氛管式炉(电炉、实验电炉、高温电炉)主要用于半导体材料的扩散、氧化工艺;
也应用于玻璃对金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光体材料的煅烧等工艺。主要特点: RGL系列气氛管式炉(电炉、实验电炉、高温电炉)用高纯石英管作为内炉膛,具有良好的洁净度;
耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机能耗低,升温快;
加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器;
RGL系列气氛管式炉(电炉、实验电炉、高温电炉)温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,
温度控 制具有良好的稳定性、重复性。技术指标:
设备型号
RGL(D)-07/75/3RGL(S)-09/60/6RGL(D)-18/110/3RGL(D)-25/100/6限高温度
1050℃1050℃1050℃1050℃使用温度
RT—1000℃RT—1000℃RT—1000℃RT—1250℃控制精度
±1.5℃±1.5℃±1.5℃±1.5℃温区个数
3个6个3个6个加热区长度
750mm600mm1100mm1000mm炉管尺寸
ф70×2200(mm)
ф90×1800(mm)
ф180×1000(mm)
ф250×2100(mm)
炉管材料
耐热钢管/石英管石英管石英管碳化硅管炉管数量
单管双管单管单管发热元件
进口电阻丝进口电阻丝进口电阻丝硅碳棒装机功率
8KW15kw20kw60kw具体工艺参数请登陆合肥日新高温技术有限公司企业门户
欢迎来电垂询: 65583720
-