• CVD化学气相沉积管式炉

    详细信息

     加工定制:是  品牌:日新高温  型号:CVD系列  
     别名:CVD化学气相沉积管式炉  适用范围:气相沉积相关实验  炉膛*高温度:1650 ℃ 
     工作温度:RT-1650 ℃ 装载量:订制 kg 工作室尺寸:订制 mm 
     外形尺寸:订制 mm   
    应用领域:
    CVD化学气相沉积管式炉广泛应用于高、中、低温CVD工艺,例如碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等,也可以适用于金属材料的扩散焊接及真空或保护气氛下的热处理

    主要特点:
    1.CVD化学气相沉积管式炉采用高纯石英管或者刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度
    2.CVD化学气相沉积管式炉的耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低
    3.CVD化学气相沉积管式炉的加热元件采用U型硅钼棒,或原装进口电阻丝
    4.CVD化学气相沉积管式炉的温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性

    技术指标:
    设备型号 CVD(D)-06/60/3 CVD(Z)-06/30/1 CVD(G)-07/50/2 CVD(G)-09/50/1
    *高温度 1050 1350 1650/1000 1650
    使用温度 RT-1000 850-1300 1000-1600 1000-1600
    控温精度 ±1.5 ±1.5 ±1.5 ±1.5
    温区个数 3 1 2 1
    加热区长度 600mm 300mm 500mm 500mm
    炉管材料 石英管 刚玉管 刚玉管 刚玉管
    炉管尺寸 60x1400mm 60x1000mm 70x1450mm 90x1450mm
    发热元件 进口电阻丝 电阻丝/硅碳棒 硅钼棒、电阻丝 硅钼棒
    *大装机功率 4.5KW 3KW/8KW 8KW 10KW

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