• 百级——万级无尘车间一站式净化服务

    详细信息

     品牌:WOL沃霖  加工定制:是  型号:WOL-WC3142  
     空气净化技术:吸附技术;HEPA高效过滤技术;活性氧技术  处理风量:10000 kw 功率:10000  
     净化率:99.99 % 噪音:0.001 db  

    百级——万级无尘车间一站式净化服务认准广州沃霖
     

     


        无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化车间根据区域环境、净化程度等因素,为若干等级。
     

    一、无尘车间等级的分类
     

    依据美国联邦政府颁布的标准[Federal Standard (FS) 209E, 1992],可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。

    如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5?m,例如,1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5?m,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。

    例如:10级在0.2?m(尘粒尺寸在0.2?m或更大下,密度不大于75颗/立方英),1级在0.1?m(尘粒尺寸在0.1?m或更大下,密度不大于35颗/立方英)而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

    为保持无尘室的洁净度,进出的人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩。

    二、无尘室清洁度的定义:
     

    所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。

    由于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

    三、无尘车间技术参数
     

    万级无尘室净化原理及技术参数

    万级无尘室原理:

    气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃(细菌) → 回风夹道→新风、初效空气处理。重复以上过程,即可达到净化目的。

    万级无尘室净化技术参数:

    换气次数:十万级10-15次/小时;

    万级15-25次/小时;

    千级50-52次/小时;

    百级操作台断面风速0.25-0.35m/s;

    压差:主车间对相邻洁净房间≥5Pa;洁净房间对非洁净区≥10Pa;

    温度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;

    相对湿度:45-65%(RH);

    噪声≤65dB(A);

    新风补充量:总送风量的20%-30%;

    照度:≥300Lux。

    万级无尘室结构材料:

    1.万级无尘室的墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。

    2.地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。

    3.净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。

    四、安装与使用

    1. 装配式洁净厂房的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成,适于批量生产,质量稳定,供货迅速;

    2. 机动灵活,即适合在新建厂房配套安装,也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合,拆卸方便;

    3. 需要辅助建筑面积较小,对土建筑装修要求低;

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