• 3D形貌测试仪zolix

    详细信息

     品牌:zolix  加工定制:是  型号:HawkEye-1300  
     外形尺寸:参考说明书 mm 重量:参考说明书 g 适用范围:参考说明书  
     用途:参考说明书  电源电压:参考说明书 V  
     随着半导体技术的电子技术工艺的发展,电子产品都往小型化,轻薄化发展。iWatch的一经推出,穿戴电子产品成为了一个新的电子设备应用潮流。随着电子产品的小型化,器件体积越做越小,空间就紧凑起来,这对器件加工尺寸及工艺的容差要求就越来越高。如何管控器件的尺寸及加工工艺对检测手段提出了新的挑战。原来很多制程工序只要管控2D的尺寸,现在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米级别,这就需要一个高速、高精度的测量手段来管控生产品质。

    卓立汉光的3D形貌测试仪应运而生,这款仪器采用非接触式线光谱共焦快速扫描技术,能够高精度还原产品的3D结构,对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。因为具有较快的扫描速度,微米级别的精度和超强的稳定性,一经推出立马成为精密生产商的新宠。在精密铸件、精密点胶、3D玻璃,半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测,就是这款产品的主要应用领域。

     

    卓立汉光长期专注于光谱技术的应用研发,3D形貌测试仪就是常年实践积累的成果(利号:CN207556477U)。该项技术,具有以下优点:

    技术

    线性共焦光谱技术

    点测技术

    激光扫描

    3D相机

    速度

    1000 line/s

    1000 point/s

    1000 line/s

    多角度拍照快

    扫描宽度

    6.5mm/20mm

    可选

    分辨率

    1um

    1um

    30um

    100um

    界面层数

    多层

    多层

    表面

    表面

    建模

    数据量

     

    三维表面形貌测量仪主要特点有:

    1、非接触性测量;

    2、线扫描,高效率;

    3、微米级精度;

    4、满足透明面及高对比度表面测试;

    5、支持二次开发;

     

    3D形貌测试仪主要应用

    1、精密部件3D尺寸及段差测试;

    2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试;

    3、3D玻璃缺陷检测;

    4、半导体表面缺陷测试;

    5、多层薄膜厚度测试;

     

    3D形貌测试仪产品型号及规格

     

    HawkEye-1300

    HawkEye-5000

    方式

    共焦光谱

    共焦光谱

    精度

    1um

    8um

    重复性

    ±0.3um

    ±4um

    线扫宽度

    6.5mm

    20mm

    Z轴量程范围

    1.3mm

    5mm

    扫描速度

    300line/s(Max:1000line/s)

    300line/s(max:1000line/s)

    重量

    5Kg

    8Kg

    尺寸

    460X300X140mm

    460X300X140mm

     

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